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第五十章 离子注入机（第1页）

“世哲！”凌世哲听到有人喊他，会头一看是李莉，她正站在停在公路边的一辆汽车旁。

看到李莉他突然不知道该怎么面对他，自从元旦那天夜里跟她吵了一番后，就一直都没有回去，一直住在他新收的二房家里。现在原配找上门来，他感到一阵心虚。

他自认自己不是一个**之徒，甚至还看不起那些到处包**的有钱人，但现在他跟那些有钱就变坏的男人有什么不同，他还有什么资格来鄙夷他们？看见李莉站在不远处的车旁静静的望着他，凌世哲羞愧的地下了头。

李莉慢慢的走到他跟前，说道：“世哲，你什么时候回家，阿姨在家里给你做了你最爱吃的菜，等你回家吃饭呢。”

听到李莉的话，凌世哲更是羞愧的无地自容，看着她的眼睛，说道：“李莉，对不起。”

李莉眼泪瞬间彪了出来，哭了好一会，把眼泪收了，说道：“世哲，记得晚上回家吃饭。”

说完，李莉转身走了，上车前，她又转个身来说道：“世哲，不要把她带回家里来好吗？”

显然她已经知道了赵晓芸的事情，这几天凌世哲都没有回家，天天往邵氏影城旁边的别墅跑，他对自己的行为又没有做任何掩饰，李莉自然很快得就知道了。但是她没有闹，只是哭了一会就接受了这一切，说白了，这个世界始终是男人的世界，香港更是如此，哪怕就是有了婚姻法也是如此，她只能默默的接受。

凌世哲叹了口气，也没有心情回公司了，找了间上档次的茶餐厅坐了一个多小时，看时间差不多了就回了浅水湾的别墅。

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“凌少，请看，这一台就是重新设计的离子注入机的样机，目前表现还不错，它现在还在测试当中，在隔一段时间没什么问题，就可以定型生产了，凌少你在加拿大的工厂很快就会用上了。”

凌世哲自那天回过浅水湾的别墅后，家人之间的矛盾已揭开，一家人重新回到了正常生活，现在的他有了两个女人，他每隔几天都要去新别墅住两日。

今天，他来到离香港大学不远的安布雷拉工艺实验室考察离子注入设备的，前几天就接到克里斯托弗的报告，离子注入设备已经研发成功。负责解说的是理工大学的邱明教授，他是国际离子学的权威，这台高能离子注入机就是在他和克里斯托弗一起搞出的。

离子注入机是晶元加工掺杂中要用到的设备。

掺杂是降可控数量的所需杂质掺入晶元中的特定区域内，从而改变半导体的电学性能。简单来说，就是在晶元中被刻蚀机刻出的还没有成行的晶体管半成品中，掺入一定的杂质，使那些还没有成行的晶体管生成合格的晶体管。

在芯片制程工艺中，芯片原料晶元上面是没有晶体管的，它是经过投影光刻、刻蚀、掺杂后才形成的。

具体来说，就是芯片工厂先把芯片设计师设计的芯片图首先制程芯片电路光刻板，然后在交给光刻机在晶元片上进行投影曝光，晶圆片上涂抹的光刻胶里面含有感光剂，经过显影工序后，晶圆片上就显现出了芯片的电路图；然后在交给刻蚀机把电路图给刻蚀出来。

经过这几道复杂的工序后，晶圆片在高倍显微镜下面就会看到的一个个小小的凸起，这就是晶体管的雏形，但这还不行，这些晶体管还只是一个个形状，还不具备晶体管的任何功能，还要进行掺杂才会变成真正的晶体管。

在晶元中掺入磷或其他五价元素就会形成n型半导体；掺入硼或其他三价元素就会形成p型半导体。

一句话，就是通过掺入不同杂质在晶圆片上形成一个个晶体管。

我们在半导体芯片上那些肉眼看不见，只有在高倍显微镜下才能看到的晶体管就是这么制造出来的。

人们有时候会问，在一个小小的芯片上是怎么做到几万甚至几亿个晶体管得？你们是怎么把晶体管做得那么小的，甚至达到了纳米级，你们又是怎么把那么小的晶体管按上去的？实际上晶体管不是按上去的，都是通过光刻工艺刻蚀并掺杂后形成的。而微米级、纳米级芯片，是指芯片中晶体管之间的间距，不是指晶体管的大小，晶体管之间的间距越小，相同面积的芯片上晶体管的数量就越多。晶体管之间布满了中间线，把各个晶体管给连接起来。

凌世哲接过邱明递过来的数据记录资料，翻开，上面全是离子注入机的各种运行记录，加工产品的品质记录等等，然后又在显微镜下看了下加工的样品，最后又看了看产品的各种检测报告，感到非常的满意，问道：“应该到达商业应用了吧？”

邱明回答道：“如果这台样机在运行上没有问题，结构上在优化一下，就可以进行商业化生产，凌少，以前对半导体的掺杂都是用的扩散法掺杂工艺，而利用离子注入机进行掺杂是60年代才开始的，但技术一直不成熟。我们的这台离子注入机在技术上完全的成熟，机构简单、体积小，保养、维护、维修上简单方便，掺杂品质好，标靶精度高，跟以前的掺杂方式比起来，有太多的优势了。”

“掺杂后的退火你们采用的是什么退火工艺？”

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