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第75章 纳米光刻机三(第1页)

廖老接过满是芯片的晶圆,手指轻弹了下,脸上并未有失望的表情。

“至少现在设备没停下来,统计所有数据,把问题都汇总下来,实验不都这样吗?”

目光扫过众人,年龄偏长的表情并无太大变化,海思团队的科学家们也没多少情绪起伏,这对他们来说是常事了。

何洪年站了出来,“诸位辛苦了,28纳米本来就是目前DUV光刻机的极限,更何况我们还加了双工件台,一个月时间想要完成别人几十年的积累,可能性几乎不存在。”

“到目前为止,我们的生产线还一直在运转,这便开了个好头,把各类型数据都记录好,分析会我们再复盘,出现问题,解决问题,我们一定能成功。”

路阳走出净室便听到廖老洪亮无比的声音,俩人视线对上,路阳点头示意搞定,后者脸上笑容渐显,声音越发有力。

“华卓的双工件台非常稳定嘛,已经超过30分钟了,不错,这么短的时间能达到这种效果,没给我们清大丢人。”

这番话让朱易等人松了口气,学院派对于封零是相当介意的。

没过多久第二批晶圆测试结果出来,良品率0.3%,芯片果然“玄学”,讲就“风水”。

“哈哈,不错!”能看出廖老今天兴致非常高,只有路阳明白为什么,遗憾的是系统虽然有了反应,但错误提示与修正难度还是过于复杂。

脑内科技树时隔多日再次点亮,28纳米浸没式双工件台光刻机,单次曝光能生产14纳米制程芯片,两次曝光可生产7纳米制程芯片,极限3次曝光可生产5纳米芯片,详细包含了光刻机生产线的所有具体内容。

其次是系统报错与优化项目,一共89项,路阳也并非当初只了解皮毛的初哥,对光刻机的各项技术都有了深刻的认知,他能轻易判断出现有生产线改进难度要远小于系统给的第一套方案。

众人的焦点再次集中在净室内的光刻机上,有了两位大佬的一番鼓励,压力减小很多,哪怕现在停止运行,也是可以接受的结果,所有人都在想着光刻机什么时候会报错停止。

然而世事总是如此,越想它发生,它偏要惊艳众人,更生生的持续了6小时才报错停止,而且良品率神奇的上升到1.2%,连路阳都忍不住佩服这个临时组成的团队,尤其是华卓工件,廖老与何洪年都不知道第几次表扬他们了。

周怀义在食堂安排了简单的晚宴,何洪年作为项目的总负责人在廖老示意下,当即宣布停团队休息3日,休假结束后召开复盘会。

路阳借口送廖老回酒店,提前离开,刚出食堂,见四下无人,把情况一五一十的跟廖老做了详细汇报。

老人表情不断变化,思索着两种方案可能造成的后果。

“你现在能不能判断两个方案所需时间的差距?”

路阳考虑片刻回答道,“老师眼光真准,两个方案具体耗时我无法估算,但前者要替换掉7层以上的现有技术与设备,好在光刻机的镜片是达标的,第一套方案的镜片数量优化到了18枚。”

“7层以上是吗?首先,消化这批新技术需要部分时间,设备改进或制造需要时间,反倒是建造生产线的时间可能是最少的,这样算下来的话,至少需要3个月以上。”

廖老笼统的算了下,接着又问道:“确定设备不需国外采购?”

“按以往的经验应该不需要,廖老,要不还是等我把资料做出来再确定?”

“多久?还是要注意身体影响,别以为自己年轻就可以肆意挥霍!”

“优化方案内容不多,2天时间应该够,至于第一套方案,最少需要5天。”

这是路阳根据之前EUV光刻机的经验判断的,上次连续肝了10天让他记忆尤为深刻。

“廖老,刚好放了3天的假,我先把优化方案做出来,团队不能停,海思的一部分人可能会加入到华芯光学,华卓的团队以后也会跟我们绑定,无论我们最后选择哪种方案,放出多少技术,都不应该影响到整个团队。”

“另外就是第一套方案,覆盖的范围非常广,基本上包含了半导体芯片的上中游技术,如何放出,会造成的影响这些都需要上面认真考虑。”

廖老看到路阳一脸认真的表情,欣慰道,“小路成长不少啊!真如你所说,影响的就不仅仅是半导体产业了,一旦西方知道我们全面掌握DUV光刻机的技术,无法再实施技术封锁,那他们会怎么办?”

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