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所以需要EUV光刻机中才需要使用反射镜来代替透镜。
但普通打磨镜面的反射率还不够高,需要复式镜面设计。
也就是可以将多层的反射集中成单一反射的‘布拉格反射器’。
而目前的人类制造出来的‘布拉格反射器’每一次反射极紫外光光源都会损失三成左右的光线能量。
但一台EUV光刻机得经过十几面反射镜,才能将极紫外光从光源一路引导到晶圆上。
到最后,能用于雕刻的光源,大概只能剩下不到百分之二的光线。
这也是光源激发器的为什么需要超大功率的原因。
毕竟在传播途径中就损失了绝大部分的光线,到最后刻蚀到晶圆上的光线能级压根就不够。
如果能降低光能反射损失率,哪怕是一个点,对于极紫外光源的强度要求就会下降好几个点。
更别提百分之十甚至是百分之二十的损失率降低了。
特别是华国的光学专家和专门研究光刻机突破的实验室及研究所,一个个的呼吸瞬间都沉重了起来。
如果真如这名主播说的,能降低百分之二十,不,甚至只需要百分之十。
那么以华国世界一线级的激光光源制造能力,生产出来的极紫外光光源就能应用到光刻机的生产上。
而在此之前,整个世界上,能生产制造出应用于EUV光刻机上极紫外光源的国家,只有‘米国’一个。
突如其来的幸福,像天上掉下了一个能吃饱一年的馅饼一样,瞬间将整个华国砸的七晕八素,不知所措了。
但很快,特别行动小组领导下的光学专家们就将这一消息迅速上报了。
在得到仔细的确认后,陈正华立刻将这件事再次进行了上报。
而得到消息的上层也迅速召开了会议并反馈了意见。
“全力配合。”
简简单单的四个字,代表着的意义自然不言而喻。
......
与此同时,地球的另一边。
一场紧急会议在米国白屋中迅速召开。
坐在这间办公室中的,依旧是之前韩元制造‘电推进-无工质发动机’的时候召开会议的那一批人。
只不过相对比那次整个办公室快吵翻天的场景,今天就安静多了。
众人坐在办公室中一片沉寂,脸上表情沉重,却无喜无悲,都不知道在想些什么。
特别是上次提议重启禁售,掌控EUV光刻机光源制造的厂商代表、出名的强硬鹰派代表罗宾森·享利·帕克,他更是明显可见的一脸难看。
上次他信誓旦旦的在会议上表示,这名主播短时间内不可能制造出高精度的光刻机。
结果虽然没有预言错,对方也公开在直播间内表示他暂时制造不出来顶级光刻机。
这本让米国为首的各西方国家大大的松了一口气。
但在座的所有人,甚至是其他国家的人,谁都没有想到,对方居然公开直播制备可以反射极紫外光的‘分布式布拉格反射器’。
尽管‘分布式布拉格反射器’是镜片,打破的是日耳曼国蔡司公司的技术。
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